高純度圧力トランスデューサ

Honnuo (瀋陽) General Machinery Co., Ltd. は、中国で最も信頼できる高純度圧力トランスデューサーのメーカーおよびサプライヤーの 1 つです。当社の工場から競争力のある価格で高品質、高純度の圧力トランスデューサーを購入することを歓迎します。カスタマイズのご注文も承ります。

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高純度特殊ガスの配送および分配システム:- エッチングやイオン注入から薄膜堆積に至る-半導体製造プロセスは、超高純度または非常に有毒な特殊ガスに依存しています。{{3}
316L ステンレス鋼製の接液部と低い表面粗さ (Ra 0.15 μm 以下) を備えた HNP60 は、粒子の吸着と汚染物質のガス放出を効果的に防止し、配送および配送中のガス純度を確保します。-これは製品の歩留まりに直接関係する要素です。
ヘリウムリークテスト仕様 (<1e-10 mbar·L/s) also meets the rigorous sealing requirements of such systems.

 

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化学薬品供給システム (特に湿式プロセス用): ウェーハの洗浄やエッチングなどの湿式プロセスでは、高純度の腐食性薬液が大量に使用されます。{0}
センサーのオール{0}}ステンレス-鋼構造と耐食性-素材により、これらの特殊媒体との互換性が保証され、化学液体に長時間さらされた場合でも信頼性の高い安定性と測定精度が維持されます。

 

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-ツールのガス パネルと流量制御:
エッチャーや成膜システムなどの半導体-フロントエンド製造装置-には、複雑なガスの供給および分配配管が組み込まれています。-
HNP60 のコンパクトなサイズと柔軟な電気接続オプション (M12 航空コネクタなど) は、スペースに制約のあるパネルへの統合に最適です。{4}これにより、重要なポイントでのガス圧力のリアルタイム監視が可能になり、プロセス制御に正確なフィードバックが提供されます。{4}.

まず、素材と清潔さを考慮してください。オール 316L ステンレス鋼構造を特徴とし、接液面粗さ (Ra) は 0.15 μm 以下に制御されています。この仕様は、粒子の付着とプロセス流体残留物を直接最小限に抑えるため、超高純度媒体システムにとって重要であり、それによって半導体および太陽光発電の製造プロセスの歩留まりに大きな影響を与えます。のリーク率を達成します。<1e-10 mbar·L/s and undergoes a 48-hour full-scale pressure retention test, demonstrating rigorous pre-shipment leak control.

次に精度の安定性です。 0.25% FS 精度評価には、非線形性、ヒステリシス、再現性が含まれます。理想的な条件下での直線性を単に引用するのではなく、包括的な誤差の数値を表し、より実用的な価値を提供します。年間安定性が 0.25% FS を超え、熱ドリフトが 0.3% FS/10 度（-10 ～ +55 度の範囲）に制御されているため、工場の床温度が変動する環境でも、再調整のために頻繁に取り外す必要がありません。これは、機能分野のエンジニアが確実に高く評価する機能です。-

最後に、現場での使いやすさです。ゼロ点調整とフルスケール調整をサポートしており、「ワンタッチ ゼロ調整」モデルも利用可能です。-これにより、静圧や取り付け位置の違いによって生じるゼロ点オフセットを現場で修正できるため、ユニットを工場に戻す必要がなくなります。-出力信号オプションには 4 ～ 20 mA、0 ～ 10 V、ディスクリート (スイッチ) 出力が含まれ、接続オプションには M12 航空コネクタおよび直接ケーブル アウトレットが含まれます。この柔軟性により、さまざまな PLC や制御システムの要件を満たすことができます。

全体として、この製品は単一の際立ったパラメータに依存するのではなく、清浄度、長期信頼性、現場適応性のバランスのとれたパフォーマンスを提供するため、ダウンタイムや汚染のリスクが重大な懸念事項となる高価値の生産ラインに適しています。{{0}{1}{2}}

• すべてステンレス鋼構造。-非常に安定性と信頼性が高い
• 調整可能なゼロ点とフルスケール出力により使いやすさが向上
• 社内で直接製造されています。-カスタマイズをサポート
• 独立した制御。当社独自のチームが提供する技術サポート

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